542系列 高精度光柵式測(cè)微儀542-715DC LGH-1010-B-EH

● 在10mm的寬范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)0.005μm或0.01μm的高分辨率和高精度，可與激光干涉儀相媲美。

● 緊湊的機(jī)身可以極大地促進(jìn)設(shè)備本身的小型化，不僅是測(cè)量高精度零件和高精度定位和控

制設(shè)備的長(zhǎng)度測(cè)量傳感器的理想選擇，也適于用作測(cè)量設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)。

● 另有低測(cè)力規(guī)格產(chǎn)品：根據(jù)用途可以選擇低測(cè)力規(guī)格產(chǎn)品，可以測(cè)量容易變形的工件及高

性能膠片等。

● LGH系列是帶有專用計(jì)數(shù)器的套裝規(guī)格。

● 配備新采用的光電式反射型線直線

柵尺，以低廉的價(jià)格實(shí)現(xiàn)了0.01μm

的高分辨率、示值誤差0.2μm和

10mm的寬測(cè)量范圍。

● 響應(yīng)速度提高到以往產(chǎn)品的2.8倍

(250mm/s?700mm/s)，兼顧高精

度和高速性。