抗蝕劑設(shè)備等半導(dǎo)體制造工藝中，平臺(tái)的表面溫度測(cè)量非常重要。
使用安立計(jì)器的「溫度記錄儀 AM-9000系列」和「自重型表面溫度傳感器　WE系列」可簡(jiǎn)單的將傳感器放置于測(cè)量點(diǎn)上，并同時(shí)測(cè)量記錄多個(gè)點(diǎn)的溫度分布。并且可在電腦上確認(rèn)圖表，進(jìn)行解析。

AM-9000K
(-200～1370℃)
AM-9000 系列產(chǎn)品是簡(jiǎn)便型溫度記錄儀。
可以記憶儲(chǔ)存數(shù)據(jù)于主機(jī)。
?使用USB數(shù)據(jù)線傳送數(shù)據(jù)到電腦
?可利用準(zhǔn)用軟件「AMS-950」（另售）進(jìn)行數(shù)據(jù)解析。

專用解析軟件AMS-950（英文版）另售。
?記錄數(shù)據(jù)可轉(zhuǎn)送至電腦制圖和制表。
?記錄的數(shù)據(jù)可轉(zhuǎn)換成CSV文檔，可利用Excel等自由編輯數(shù)據(jù)。
?也可轉(zhuǎn)換成XPS文檔，以防止數(shù)據(jù)被串改。

WE-33K-TA1-ANP
溫度范圍：-50～200℃